Głównym obszarem działania Laboratorium jest optyka cząstek naładowanych oraz jej zastosowania w odniesieniu do aparatury technologicznej i badawczej ze szczególnym uwzględnieniem:
- metod projektowania i badania własności układów elektronooptycznych,
- metod detekcji i przetwarzania sygnałów w skaningowym mikroskopie elektronowym (SEM) w celu uzyskania ilościowych informacji o obiekcie,
- skaningowej mikroskopii niskoenergetycznej (LESEM),
- skaningowej mikroskopii niskopróżniowej (LVSEM, ESEM).
Wyniki prowadzonych badań naukowych znalazły zastosowanie w licznych opracowaniach złożonej aparatury elektronooptycznej i wyposażenia mikroskopowego, do których należy:
- seria skaningowych mikroskopów elektronowych o różnym przeznaczeniu, jak:
- wielozadaniowy mikroskop MR-1,
- mikroskop MR-11 z czterokanałowym układem detekcji sygnału oraz systemami analogowego i cyfrowego przetwarzania sygnałów, umożliwiający uzyskanie ilościowych informacji o mikro-topografii obiektu,
- mikroskop MRD-10 przeznaczony do inspekcji struktur półprzewodnikowych, wytwarzanych na płytkach o średnicy do 6'' (150 mm), o wielkogabarytowej komorze przedmiotowej i pięcioosiowym stoliku goniometrycznym
- zespół detekcji kontrastu napięciowego, umożliwiający obrazowanie i pomiar rozkładu napięć na powierzchni obiektu, z oryginalnym analizatorem energii elektronów,
- zespół odtwarzania profili powierzchni, umożliwiający ilościowe badania mikrotopografii,
- komputerowy system trójwymiarowego obrazowania powierzchni z czterokanałowym układem detekcyjnym,
- system próżniowo detekcyjny umożliwiający pracę standardowego mikroskopu skaningowego w zakresie niskich próżni (do 50 hPa) i obrazowanie preparatów o dużej prężności par.
|